六氟乙烷化學式C2F6，為無色、無臭、無味、不可燃的惰性氣體，常用作絕緣氣、等離子蝕刻劑, 高介電強度泠卻劑，易司拓普可供應5N級六氟乙烷，有需求可聯系客服。

六氟乙烷產品介紹

產品名稱：六氟乙烷

英文名：hexafluoroethane

CAS號：76-16-4

分子量：138.01200

分子式：C2F6

產品規格：5N

包裝規格：47L、CGA660/Diss716、40kg

六氟乙烷的用途

六氟乙烷在半導體與微電子工業中用作等離子蝕刻氣體、器件表面清洗劑，還可用于光纖生產與低溫制冷。因其具有無毒無臭、高穩定性而被廣泛應用在半導體制造過程中，例如作為蝕刻劑、化學氣相沉積(CVD)后的清洗氣體，在等離子工藝中作為二氧化硅和磷硅玻璃的干蝕氣體。

六氟乙烷的合成方法

目前六氟乙烷的制備有多種工藝路線方法，主要包括電化學氟化法、熱解法、金屬氟化物氟化法、氟化氫催化氟化法、直接氟化法。①電化學氟化法：乙炔、乙烯或乙烷在電解條件下氟化；②熱解法：通過四氟乙烯和CO2之間的熱分解反應制備；③金屬氟化物氟化法：如乙炔、乙烯和乙烷與金屬氟化物(CoF3、MnF3、AgF2)進行反應；④氟化氫催化氟化法：催化劑存在下氟化全鹵代乙烷化合物(C2FxCly)；⑤直接氟化法：活性炭、乙炔、乙烷和五氟乙烷等氣體直接與氟氣反應。